当前，随着数字中国战略部署实施，人工智能快速发展，5G时代震撼来袭，半导体集成电路产业迎来大有可为的黄金发展期。
近年来，银川市深入落实“工业强市”战略，稳增速、促转型，“三新”产业呈现蓬勃发展的态势，特别是在新材料领域，我市把握新机遇，引进中欣晶圆、宁夏盾源聚芯半导体等企业，致力于建设西部具有影响力的半导体材料生产基地，不断延伸晶圆切磨抛深加工，积极推进大尺寸半导体级硅部件的研发和产业化进程。
一个从无到有，逐渐形成规模的半导体新材料产业，正为强大“中国芯”贡献银川力量，也在为加快建设黄河流域生态保护和高质量发展先行区示范市提供强有力的支撑。
快马加鞭
创新升级引领行业“加速跑”
中国半导体产业从小到大、从弱到强，已跃升为全球举足轻重的半导体显示研发和制造基地，但鲜有人知晓，位于银川经开区的宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司(以下简称“中欣晶圆”)所生产的大尺寸半导体硅片对中国半导体产业的发展有着举足轻重的作用。
什么是半导体级单晶硅片?它在哪些领域“大显神通”?在这个信息化高速发展的时代，由晶圆制成的芯片可谓是智能产品的“心脏”。小到太阳能电池、传感器，大到智能家电、无人汽车，都可见它的身影。而作为基底材料，硅晶圆对信息化产业的发展有着重要的作用，尤其是大晶圆大芯片，更是相关产业实现高质量发展的重要支撑。
作为国内极少数可以量产12英寸大硅片的半导体材料企业，中欣晶圆拥有国内一流的半导体硅片生产线，具有6英寸及以下40万片/月、8英寸45万片/月、12英寸10万片/月的生产能力，2022年12英寸大硅片有望达到20万片/月的生产能力。
2021年中欣晶圆产值近4亿元，比上年增加近1.5亿元。“目前，我们已拥有国内一流的半导体硅片生产线，8英寸半导体级单晶硅片占国内一半份额，在12英寸重掺砷低电阻率2.3~3毫欧、重掺红磷低电阻率1.3毫欧上也取得重要突破，达到国内、国际先进水平。”中欣晶圆相关负责人告诉记者，这得益于这些年源源不断的创新投入，3年公司累计投入创新资金1349.52万元，并打造了一支宁夏的芯片研发团队。
产业发展
深耕大尺寸硅片填补国内空白
1月4日，在中欣晶圆的企业生产车间，几十台机器高速运转，经过拉晶、晶棒、截断、滚磨、成品5道工序，一根根12寸450公斤投料晶棒被工人拉制出来，晶棒呈圆柱体形状，浑身成银灰色，闪闪发光。
每天有一千多根12寸450公斤投料晶棒从这里被送往世界各地，参与最尖端的芯片制造。“中国市场对大尺寸半导体晶圆的需求量一直很大，但国内现在只能满足4英寸~6英寸的晶圆片，8英寸以及高端的12英寸大晶圆片自主供应能力弱，相当长的一段时间内，大尺寸硅片主要由美日德等原设备供应商供应，国内没有成熟的生产链。”中欣晶圆相关负责人表示。
面对国内乃至国际市场大尺寸硅片空白的局面，中欣晶圆下好先手棋，经过近10年的深耕，中欣晶圆先后投入10亿元，打造宁夏的“中国芯”。并高薪聘请海外专家给员工们讲课，同时，定期派专业技术人员外出学习，通过不断创新来填补国内大尺寸半导体硅片生产领域的空白。
现在，中欣晶圆12寸450公斤投料晶棒良率高达87.6%，国内几乎没有企业能做到这样的水平，在全球范围内，也只有极少数企业能够做到成功拉制12寸450公斤投料晶棒的半导体级单晶硅片，该企业已成为业内名副其实的佼佼者。
服务提升
“硬核产品”为产业发展加码
在中欣晶圆的对面，宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司(以下简称“盾源聚芯”)同样占领着国内芯片领域的最高地。在半导体产业链中，芯片制造是最关键的过程之一，如果说晶圆是芯片的“承载者”，那么硅部件便是决定晶圆品质的关键点，近年来，盾源聚芯在硅部件制造领域屡屡实现新突破。
盾源聚芯的生产车间。
1月5日，记者走进盾源聚芯，国内最先进的生产加工设备随处可见，除此之外，大直径半导体级硅部件的生产环境最高可达到100级的超级净空级别，产品具有高精密、高洁净的品质，这样的“高标准”，在国内少之又少。“100级的超级净空级别在半导体晶圆生产中比较常见，但运用到半导体硅部件领域，我们算是首屈一指。硅部件为晶圆提供电场辅助，对精度的要求更高，它的材质和硅片相近，即使很小的金属原子也会影响芯片的性能，近年来，研发团队先后在清洗技术、耐高温等方面取得了一系列突破。”盾源聚芯相关负责人介绍。
目前，盾源聚芯已集合了从硅材料到硅部件设计、加工、监测、清洗等全流程产品和服务，技术在中国硅部件加工领域持续领跑，市场份额排名第一。
最近，该企业的大直径半导体级硅部件项目也传来喜讯，项目已全部完成土建建设、设备陆续调试安装，产成品已被半导体主流设备厂家认证。盾源聚芯相关负责人告诉记者，截至去年11月，项目累计投资15000万元，达产后硅部件产品将实现月产2000枚，其中，年产8万枚大直径半导体级硅部件材料，达产后年产值可实现8亿元。
除了半导体硅部件，盾源聚芯生产的高等级坩埚也是行业内的鼻祖，其中，32英寸的合成坩埚走在全国前列，生产技术甚至远超韩国和日本。“坩埚中运用的一种合成砂，相比天然的沙子制造出的坩埚纯度更高，铁金属含量更少，能够拉出高品质的晶棒，现在在行业内‘圈粉无数’。”盾源聚芯相关负责人说，越来越多的“硬核产品”为产业的发展加码，去年企业产值达到近5亿元，比上年翻三番。 |
