12月14日,在宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司(以下简称“中欣晶圆”)的企业生产车间,一根根12寸450公斤投料晶棒被工人拉制出圆柱体形状,浑身成银灰色,闪闪发光,每天有一千多枚12寸450公斤投料晶棒从这里被送往世界各地,参与最尖端的芯片制造。
中欣晶圆12寸450公斤投料晶棒良率高达87.6%,目前,国内几乎没有企业能做到这样的水平,在全球范围内,也只有极少数企业能够做到成功拉制12寸450公斤投料晶棒的半导体硅片,这家位于银川经济技术开发区的企业是业内名副其实的佼佼者。
将晶棒切割成硅片,再将硅片制成的芯片,便是智能产品的“心脏”。大到工业机器人、无人汽车,小至智能手机、物联传感器,都离不开这个方寸之间的“硬核”产品,而大尺寸硅片的作用还不止于此,有了它,无人飞机才能飞,人造卫星、宇宙飞船和航天飞机才可以准确升空、飞行、定位,并自动向地面发回各种信息。目前,中欣晶圆已经具备6英寸及以下40万片/月、8英寸45万片/月、12英寸10万片/月的产能。同时,已拥有国内一流的半导体硅片生产线的中欣晶圆,在12英寸重掺砷低电阻率2.3~3毫欧、重掺红磷低电阻率1.3毫欧上也取得重要突破,达到国内、国际先进水平。
在中欣晶圆的对面,宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司(以下简称“盾源聚芯”)同样占领着国内芯片领域的最高地。最近,企业的大直径半导体级硅部件项目传来喜讯,项目已全部完成土建建设、设备陆续调试安装,产成品已被半导体主流设备厂家认证。
盾源聚芯相关负责人告诉记者,在半导体产业链中,芯片制造是最关键的过程之一,如果说晶圆是芯片的“承载者”,那么硅部件便是能够决定晶圆制程品质的关键点,近年来,盾源聚芯在硅部件制造领域屡屡实现新突破。截至今年11月,项目累计投资15000万元,达产后硅部件产品将实现月产2000枚,其中,年产8万枚大直径半导体级硅部件材料,达产后年产值可实现8亿元。
除了半导体硅部件,盾源聚芯生产的高等级坩埚也是行业内的鼻祖,其中,32英寸的合成坩埚走在全国的前列,生产技术甚至远超韩国和日本。“坩埚中运用的一种合成砂,相比天然的沙子制造出的坩埚纯度更高,铁金属含量更少,能够拉出高品质的晶棒,现在在行业内‘圈粉无数’。”盾源聚芯生产管理部部长王志国说。
今年以来,银川经济技术开发区深入落实银川市“工业强市”战略,推动工业经济高质量发展,围绕建设西部具有影响力的半导体材料生产基地目标,不断延伸晶圆切磨抛深加工,积极推进大尺寸半导体级硅部件的研发和产业化进程。下一步,通过延链、补链、强链,全力推进新材料产业领域内的光伏材料、工业蓝宝石、半导体、锂离子电池材料等产业集群建设,为建设黄河流域生态保护和高质量发展先行区示范市贡献力量。 记者 闫茜 |